原子層状MoS2のエッチング：光学コントラストによる層数評価
(Etching of atomically layer MoS2: Thickness identification by optical contrast method)
2014年第61回応用物理学会春季学術講演会. 2014.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:21:32 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:48:29 +0900