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マグネトロンスパッタリング法により成膜した酸化セリウム薄膜の表面形態

山本春也, 杉本雅樹, 越川 博, たぐち とみすぐ, 箱田照幸, 八巻徹也, 森 利之.
第26回日本MRS年次大会. 2016.

NIMS著者


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    作成時刻 :2017-02-14 10:53:54 +0900 更新時刻 :2017-07-10 22:33:42 +0900

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