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パルスレーザ堆積法を用いたチタン酸窒化物薄膜の作製

水城 淳, 井上 忠彦, 吉松公平, 大橋 直樹, 大友 明.
2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会. 2017年09月05日-2017年09月08日.

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    作成時刻: 2017-11-03 22:48:02 +0900更新時刻: 2018-06-05 14:13:52 +0900

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