(2D-Array of Nanomechanical Membrane-type Surface Stress Sensor (MSS) and Double-side Coating for Higher Reproducibility)
9th International Workshop on Nanomechanical Sensing 2012. 2012年06月06日-2012年06月08日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:42:09 +0900 更新時刻: 2017-07-10 21:23:59 +0900