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アルミ・酸素同時供給によるエピ酸化膜成長におけるNi基板中のSiコンタミの影響
第52回真空に関する連合講演会. November 16, 2011-November 18, 2011.
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Created at: 2017-01-08 03:23:30 +0900 Updated at: 2017-07-10 21:13:15 +0900