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角度制御型マグネトロンスパッタリング装置を用いた 酸化亜鉛薄膜の作製と成膜条件の検討
(Fabrication and Optimization of Zinc Oxide Thin Film Growth using Angle-Controlled Magnetron Sputtering)
日本セラミックス協会第31回秋季シンポジウム. September 05, 2018-September 07, 2018.
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Created at: 2019-03-04 09:36:25 +0900 Updated at: 2019-03-04 09:36:25 +0900