TiN膜へのCl+イオン打ち込みによる低摩擦化のX線光電子分光法による研究
(Mechanism of reducing friction coefficient of TiN film by Cl+ ion implantation studied from a viewpoint of surface reaction)
第43回真空に関する連合講演会. 2002年10月16日-2002年10月18日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 11:25:01 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:25:01 +0900