接触面積制御型の非破壊電気コンタクト用ソフトプローブ
(Area-controlled Soft Contact Probe: Non-Destructive Electric Contact to Fragile Specimens)
第70回応用物理学会 春季学術講演会. 2023年03月15日-2023年03月18日.
NIMS著者
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作成時刻: 2023-11-16 03:15:53 +0900 更新時刻: 2023-11-16 03:15:53 +0900