SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > 口頭発表 > 詳細

機械学習を用いた薄膜作製プロセスのclosed-loop optimization

著者大久保 勇男.
会議名化学工学会 CVD反応分科会 第35回シンポジウム
発表年2022
言語Japanese

▲ページトップへ移動