Dynamics of micro-object operation considering the adhesive effect under an SEM
(SEM観察下での付着現象を考慮した微小物体操作の力学)
SPIE Microrobotics and Microassembly. 2001年10月29日-2001年10月30日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 11:15:24 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:15:24 +0900