プラズマソースイオン注入におけるパルス電圧誘起放電の発生とガス圧の関係
(Gas pressure dependence of pulse-voltage induced descharge in plasma source ion implantation )
第１５回イオン注入表層処理シンポジウム、SMII１９９９. 1999-11-19.
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作成時刻: 2017-02-14 10:58:06 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:00:28 +0900