A New Understanding of Sublimation Growth in SiC and a Proposed Furnace Structure Based on Si-C Phase Relations
ICSCRM2026 (23rd International Conference on Silicon Carbide and Related Materials). 2026年09月27日-2026年10月02日.
NIMS著者
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作成時刻: 2026-10-03 03:10:03 +0900 更新時刻: 2026-10-03 03:10:03 +0900