BN薄膜のレーザ・プラズマ複合化CVDにおける波紋パターンを伴うミクロコーン形成
(Formation of microcones accompanied with ripple patterns in laser-activated plasma CVD of sp3-bonded BN films)
ICRP8/SPP31 . 2014.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:38:37 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:05:33 +0900