角度制御型マグネトロンスパッタリング装置を用いた 酸化亜鉛薄膜の作製と成膜条件の検討
(Fabrication and Optimization of Zinc Oxide Thin Film Growth using Angle-Controlled Magnetron Sputtering)
2018年 第79回応用物理学会秋季学術講演会. 2018年09月18日-2018年09月21日.
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作成時刻: 2019-03-04 09:36:57 +0900更新時刻: 2019-03-04 09:36:57 +0900