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機械学習を活用した分子線エピタキシー薄膜成長のclosed-loop optimization

著者大久保 勇男.
会議名日本表面真空学会 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)第167回定例研究会
発表年2021
言語Japanese

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