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[公開特許出願] 薄膜の熱物性測定装置とこの測定装置を用いた熱伝導率と界面熱抵抗の測定方法

2010-10-28. 特開2010243482号 (Google Patents) , 特許5598813号

NIMS著者


作成時刻 :2023-07-22 21:45:30 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:30 +0900

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