HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] ルテニウム酸化物単結晶の製造方法及び製造装置2022-05-17. 特開2022073173号 (Google Patents) , 特許7606204号NIMS著者菊川 直樹作成時刻 :2023-07-22 21:46:11 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:46:11 +0900