HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 単結晶研磨加工面を所定の方位角に設定調整する方法ならびにこの方法を実施するのに用いられる研磨加工治具2003-01-24. 特開2003021608号 (Google Patents) , 特許3635324号NIMS著者作成時刻 :2023-07-22 21:44:45 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:44:45 +0900