HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] ホウ化物結晶とこれを用いた半導体層形成用基板並びにその製造方法2002-12-04. 特開2002348200号 (Google Patents) , 特許4480298号NIMS著者作成時刻 :2023-07-22 21:44:45 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:44:45 +0900
