HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] ホウ化物単結晶とその製造方法及びそれを利用した半導体層形成用基板2003-09-10. 特開2003252697号 (Google Patents) , 特許4302927号NIMS著者作成時刻 :2023-07-22 21:44:49 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:44:49 +0900