HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 六方晶窒化ホウ素薄膜の製造方法2022-02-18. 特開2022029783号 (Google Patents) , 特許7479011号NIMS著者小出 康夫作成時刻 :2023-07-22 21:46:10 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:46:10 +0900