HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 誘電体単層薄膜、それを含むキャパシタ及び半導体素子、並びにその製造方法2021-04-22. 特開2021063003号 (Google Patents) US2021110975 (Google Patents) NIMS著者長田 実佐々木 高義谷口 貴章作成時刻 :2023-07-22 21:46:10 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:46:10 +0900
