HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] マグネトロンスパッタリング陰極の磁束配置切替方法2006-01-26. 特開2006022388号 (Google Patents) , 特許4873679号NIMS著者作成時刻 :2023-07-22 21:45:00 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:00 +0900
