HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 炭化ケイ素の製造方法2013-03-07. 特開2013047182号 (Google Patents) , 特許5477445号特開2009155185号 (Google Patents) , 特許5177793号NIMS著者作成時刻 :2023-07-22 21:45:20 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:20 +0900