HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] デュアルマグネトロンスパッタリング装置及び薄膜体製造方法2006-02-23. 特開2006052419号 (Google Patents) , 特許4873681号NIMS著者作成時刻 :2023-07-22 21:45:00 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:00 +0900
