HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] ウルツ鉱型III-V族窒化物薄膜結晶の製造法2005-03-17. 特開2005067988号 (Google Patents) , 特許4413558号NIMS著者大垣 武羽田 肇大橋 直樹作成時刻 :2023-07-22 21:44:54 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:44:54 +0900