HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 窒素プラズマによるSiCナノ粒子の製造法2011-03-03. 特開2011042571号 (Google Patents) , 特許5252460号特開2006001779号 (Google Patents) , 特許4649586号NIMS著者作成時刻 :2023-07-22 21:45:00 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:00 +0900