HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] プラズマ気相反応装置1988-02-13. 特開S63033572号 (Google Patents) , 特許1557137号NIMS著者古林 孝夫作成時刻 :2023-07-22 21:44:19 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:44:19 +0900
