HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 酸素分圧の精密制御を可能とする加熱酸化炉、及び酸化速度測定装置2022-04-15. 特開2022060821号 (Google Patents) , 特許7553088号NIMS著者作成時刻 :2023-07-22 21:46:10 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:46:10 +0900
