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[公開特許出願] 酸化炭素薄膜および酸化窒化炭素薄膜とこれら酸化炭素系薄膜の製造方法

2004-04-08. 特開2004107102号 (Google Patents) , 特許3931229号

NIMS著者


    作成時刻 :2023-07-22 21:44:48 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:44:48 +0900

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