HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 酸化炭素薄膜および酸化窒化炭素薄膜とこれら酸化炭素系薄膜の製造方法2004-04-08. 特開2004107102号 (Google Patents) , 特許3931229号NIMS著者作成時刻 :2023-07-22 21:44:48 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:44:48 +0900