Patterned Heavy-ion Implantation and Feasibility of Low Energy Ion Nanopatterning by RIE
(パターン重イオン注入とRIEによる低エネルギーイオンナノパターンニングの実現性)
| 著者 | KISHIMOTO, Naoki, Valery Zhukov, Siegfried Kalbitzer. |
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| 掲載誌名 | Proceedings of CAARI 2008 #146-#146 |
| 出版社 | |
| 出版年 | 2009 |
| 言語 | English |