Patterned Heavy-ion Implantation and Feasibility of Low Energy Ion Nanopatterning by RIE
(パターン重イオン注入とRIEによる低エネルギーイオンナノパターンニングの実現性)
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 12:28:42 +0900 更新時刻: 2022-09-05 12:28:42 +0900