超小型・超高感度 膜型表面応力センサー(MSS) -医療・環境・セキュリティーへの応用に期待
(Nanomechanical Membrane-type Surface Stress Sensor (MSS))
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Created at: 2020-11-20 10:44:00 +0900Updated at: 2020-11-20 10:44:00 +0900