HOME > Misc > Detailシリコン上シリサイド半導体のUHV-TEM観察(UHV-TEM Observation of Semiconducting Silicides on Silicon)田中 美代子, 韓 明, 竹口 雅樹, 古屋 一夫. 2002シリサイド系半導体・夏の学校プロシーディングス 10-11. 2003.NIMS author(s)TANAKA, MiyokoTAKEGUCHI, MasakiFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2022-09-05 11:18:32 +0900 Updated at: 2022-09-05 11:18:32 +0900