SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > その他の文献 > 書誌詳細

アルミの表面プラズモン共鳴を用いたフォトレジストのナノ加工
(Nano-patterning of photoresists assisted by surface plasmon on Aluminium)

瀬川 浩代, 金谷考洋, 矢野哲司, 柴田修一.
文部科学省先端研究施設共用イノベーション創出事業ナノテクノロジー・ネットワーク電子ビームによるナノ構造造形・観察支援成果報告書　 44-45. 2010.

NIMS著者

Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット

    作成時刻: 2020-11-20 10:36:54 +0900更新時刻: 2020-11-20 10:36:54 +0900

    ▲ページトップへ移動