UV ナノインプリント法を用いたナノメートル精度の金型作り
(Mold fabrication with nm precision employing UV nanoimprint lithography)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2020-11-20 10:37:54 +0900更新時刻: 2020-11-20 10:37:54 +0900