プラズマCVDの基礎と最新動向
(Plasma assisted chemical vapor deposition of covalent-bonded materilas in view of its kinetics and energetics)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2022-09-05 11:18:45 +0900 更新時刻: 2022-09-05 11:18:45 +0900