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Ion-Beam-Based Nanofabrication
(イオンビームを基礎としたナノファブリケーション)

著者Daryush Ila, John Baglin, KISHIMOTO, Naoki, Paul Chu.
掲載誌名Ion-Beam-Based Nanofabrication 1-239
出版社
出版年2008
言語English

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