Trace Impurity Analysis in Multilayer by X-ray Standing Wave Generated Around Bragg Angle
(ブラッグ角近傍で生じるX線定在波を用いた多層膜中の微量不純物の解析)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2020-11-20 10:34:55 +0900 更新時刻: 2020-11-20 10:34:55 +0900