SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > Misc > Detail

機械学習を用いた薄膜作製プロセスの高速化

Author(s)大久保 勇男, ホー ズーフォン, Mikk Lippmaa.
Journal title物性研だより 13-15
Publisher
Year of publication2021
LanguageJapanese

▲ Go to the top of this page