HOME > Misc > Detail反応性スパッタリング法による窒化物薄膜合成時における粒子種畑野東一. 真空 188. 1990.NIMS author(s)Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2022-09-05 11:05:59 +0900 Updated at: 2022-09-05 11:05:59 +0900
