プラズマジェットを用いるフッ素を含むガスからのcBNの合成
(Plasma jet CVD of cBN from fluorine-contining gases)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻 :2017-02-14 11:20:35 +0900 更新時刻 :2017-04-06 19:04:10 +0900