Si(100)/SiO2界面酸化の分子動力学シミュレーション：Si関連分子種のSiO2および基板への放出と取り込み
(Molecular dynamics simulations on the oxidation of Si(100)/SiO2interface: Emissions and incorporations of Si-related species into the SiO2and substrate)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 17:41:59 +0900 更新時刻: 2026-10-30 06:52:47 +0900