Real-time Ellipsometric Observation of Sefractive Index Change of Ultra Thin Silicon Oxide Film Growth.
(シリコンの極薄酸化膜成長時における屈折率変化の実時間観察.)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2016-05-24 11:34:27 +0900 更新時刻: 2026-10-03 06:27:09 +0900