CVDによるMo上のSiC被覆と熱サイクル下での安定性損傷
(Silicon Carbide Coating on Molybdenum by Chemical Vapor Deposition and Its Stability under Thermal Cycle Conditi)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 11:25:32 +0900更新時刻: 2024-04-01 18:04:32 +0900