HOME > 論文 > 書誌詳細Deposition of TiB2 Films by Co-Sputtering Method(コスパッタ法によるＴｉＢ２の蒸着)四＊樹男, Y. Sakai, 福富勝夫, 岡田雅年, T. Shikama, M. Fukutomi, M. Okada. Thin Solid Films 156 [2] 287-294. 1988.https://doi.org/10.1016/0040-6090(88)90323-9 NIMS著者Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2016-05-24 11:29:38 +0900更新時刻: 2024-04-01 17:59:48 +0900
