In-situ Observation of Focused Ion Beam Micropatterns on Semiconductors and Insulators
(集束イオンビームにより半導体及び絶縁体上に加工されたマイクロパタンのその場観察)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2022-11-15 00:39:21 +0900更新時刻: 2022-11-15 00:39:21 +0900