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Mo上のTiC,VCイオンプレーティング膜の密着性に及ぼす基板温度制御の影響
(Effect of Substrate Temperature Control During Deposition on the Asherent of Ion-plated Tic and VC Films on Molybdenum)

福富勝夫, 藤塚正和, 北島 正弘, 四竃樹男, 岡田雅年, Masao Fukutomi, Masakazu Fujitsuka, Tatsuo Shikama, Masatoshi Okada, 福富勝夫, 藤塚正和, 北島 正弘, 四竃樹男, 岡田雅年.
Thin Solid Films 80 [1-3] 271-277. 1981.
https://doi.org/10.1016/0040-6090(81)90234-0

NIMS著者

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      作成時刻: 2016-05-24 11:26:25 +0900更新時刻: 2024-04-01 17:57:08 +0900

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