パルス変調高周波誘導プラズマの発生と材料プロセスへの応用
(Generation of Pulse-Modulated RF Induction Plasma and Its Application to Materials Processing)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2016-05-24 11:55:35 +0900 更新時刻: 2018-12-15 00:07:52 +0900