Ultramicro Fabrications on Fe-Ni Alloys Using Electron-Beam Writing and Reactive-Ion Etching
(電子線描画と反応性イオンエッチングを用いたFe-Ni合金薄膜の超微細加工)
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 10:46:35 +0900 更新時刻: 2022-09-05 10:46:35 +0900