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錫の反応性スパッタリング過程

畑野東一, 上村揚一郎, 内田健治.
真空 341. 1979.

NIMS著者


    Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


      作成時刻: 2022-09-05 10:21:29 +0900 更新時刻: 2022-09-05 10:21:29 +0900

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